電子探針的作用

                                                                             電子探針的作用

電子探針又稱微區X射線光譜分析儀、X射線顯微分析儀。其原理是利用聚焦的高能電子束轟擊固體表麵，使被轟擊的元素激發出特征X射線，按其波長及強度對固體表麵微區進行定性及定量化學分析。主要用來分析固體物質表麵的細小顆粒或微小區域，最小範圍直徑為1μm左右。分析元素從原子序數3(鋰)至92(鈾)。絕對感量可達10-14至10-15g。近年形成了掃描電鏡—顯微分析儀的聯合裝置，可在觀察微區形貌的同時逐點分析試樣的化學成分及結構。探針廣泛應用於地質、冶金材料、水泥熟料研究等部門